НОВОСТИ

Наша компания занимается производством электрооборудования и предоставляет гарантии, а так же ремонт на выпускаемую продукцию.

подробнее...

 
 

Ионные источники

 

Нашей фирмой разработан ряд ионных источников различных размеров и устройств на их основе, раелизующих метод ионно-лучевого нанесения пленочных покрытий распылением соответсвующих мешений (металлов, полупроводнимков, диэлектреков, магнитных материалов и органики) лучом энергитических ионов, рабочих газов, а также ряд источников для очистки, травления, активации поверхности подложек и растущей пленки в вакууме.

 

Схема технологических процессов ионно-лучевой очистки, травления и активации поверхности подложек (а), и ионно-лучевого нанесесения (б).

          схема

Краткие технические характеристики ионных источников

- рабочее напряжение                       1-5 kV

- ток разряда                                      10-1000 mA

- рабочий газ                                 аргон,азот,кислород,смеси газов

- рабочее давление                            5х10 -4 мм.ст.ст

- диаметр мишени                               30-200 мм.

- распыляемые материалы                  - любые

Ионные источники © 2007 ЗАО КБ СПК
сделать сайт в megagroup.ru
Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100
О нас Напишите нам Карта сайта