Разработан ряд магнетронов различных размеров, реализующих метод ионно-плазменного нанесения пленок распылением соответсвующих мешений (металлов полупроводников) в атмосфере как инертных, так и реактивных газов.
Основным отличием магнетронов от традиционных является возможность быстрой замены мишеней. При этом мишени не требуют какой-либо механической обработки (сверление, фрезерование).Мишени могут охлаждаться водой непосредственно или косвенно.По требованию заказчика могут быть изготовленны разбалансированные магнетроны.
Помимо этого, в наших магнетронах для подавления паразитных разрядов не используется такая "нужная" деталь как защитный экран (кожух). Благодаря точно расчиитанной магнитной системе разряд загорается только на мишени и ни в каком другом месте.
Контакты: Панин Сергей Васильевич тел. 8-905-739-91-60
|